|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 86 van 113 gevonden artikelen
| Titel: |
Scanning probe-based high-accuracy overlay alignment concept for lithography applications |
| Auteur: |
Ishchuk, Valentyn Guliyev, Elshad Aydogan, Cemal Buliev, Ivan Kaestner, Marcus Ivanov, Tzvetan Ahmad, Ahmad Reum, Alexander Lenk, Steve Lenk, Claudia Nikolov, Nikolay Glinsner, Thomas Rangelow, Ivo W. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 123 (2016) nr. 1 pagina's 1-12 |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 86 van 113 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |