|
Structure, optical properties and thermal stability of HfErO films deposited by simultaneous RF and VHF magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Structure, optical properties and thermal stability of HfErO films deposited by simultaneous RF and VHF magnetron sputtering |
Auteur: |
Zhang, H. Y. He, H. J. Zhang, Z. Jin, C. G. Yang, Y. Wang, Y. Y. Zhuge, L. J. Ye, C. Wu, X. M. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 119 (2015) nr. 2 pagina's 517-524 |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|