|
Hyperdoping of silicon with deep-level impurities by pulsed YAG laser melting |
|
|
|
Titel: |
Hyperdoping of silicon with deep-level impurities by pulsed YAG laser melting |
Auteur: |
Umezu, Ikurou Naito, Muneyuki Kawabe, Daisuke Koshiba, Yusuke Nagao, Katsuki Sugimura, Akira Aoki, Tamao Inada, Mitsuru Saitoh, Tadashi Kohno, Atsushi |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 117 (2014) nr. 1 pagina's 155-159 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|