|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterizations of evaporated α-Si thin films for MEMS application |
| Auteur: |
Jiao, X. Q. Zhang, R. Yang, J. Zhong, H. Shi, Y. Chen, X. Y. Shi, J. |
| Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
| Paginering: | Jaargang 116 (2013) nr. 2 pagina's 621-627 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |