|
Planar self-aligned imprint lithography for coplanar plasmonic nanostructures fabrication |
|
|
|
Titel: |
Planar self-aligned imprint lithography for coplanar plasmonic nanostructures fabrication |
Auteur: |
Wan, Weiwei Lin, Liang Xu, Yelong Guo, Xu Liu, Xiaoping Ge, Haixiong Lu, Minghui Cui, Bo Chen, Yanfeng |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 116 (2014) nr. 2 pagina's 657-662 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|