|
Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film |
|
|
|
Titel: |
Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film |
Auteur: |
Chen, Rui Qi, D. F. Ruan, Y. J. Pan, S. W. Chen, S. Y. Xie, Sheng Li, Cheng Lai, H. K. Sun, H. D. |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 106 (2011) nr. 1 pagina's 251-255 |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|