|
Development of ultra-short pulse VUV laser system for nanoscale processing |
|
|
|
Titel: |
Development of ultra-short pulse VUV laser system for nanoscale processing |
Auteur: |
Katto, Masahito Zushi, Hironari Nagaya, Wataru Harano, Shinya Matsumoto, Ryota Yokotani, Atushi Kaku, Masanori Kubodera, Shoichi Miyanaga, Noriaki |
Verschenen in: |
Applied physics. Part A, Materials science and processing |
Paginering: |
Jaargang 101 (2010) nr. 2 pagina's 297-301 |
Jaar: |
2010 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|