|
Investigations on PECVD boron carbonitride layers by means of ERDA, XPS and nano-indentation measurements |
|
|
|
Titel: |
Investigations on PECVD boron carbonitride layers by means of ERDA, XPS and nano-indentation measurements |
Auteur: |
Thamm, Thomas Wett, Daniel Bohne, Wolfgang Strub, Erik Röhrich, Jörg Szargan, Rüdiger Marx, Günter Goedel, Werner A. |
Verschenen in: |
Microchimica acta : micro and trace analysis |
Paginering: |
Jaargang 156 (2006) nr. 1-2 pagina's 53-56 |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Vienna |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|