|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Tribo-chemical Behavior of Copper in Chemical Mechanical Planarization |
| Auteur: |
Li, Jing Chai, Zhimin Liu, Yuhong Lu, Xinchun |
| Verschenen in: |
Tribology letters |
| Paginering: | Jaargang 50 (2013) nr. 2 pagina's 177-184 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 15 gevonden artikelen
| << vorige |