|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 29 gevonden artikelen
| Titel: |
Material Removal Mechanism of Copper CMP from a Chemical–Mechanical Synergy Perspective |
| Auteur: |
Li, Jing Liu, Yuhong Lu, Xinchun Luo, Jianbin Dai, Yuanjing |
| Verschenen in: |
Tribology letters |
| Paginering: | Jaargang 49 (2012) nr. 1 pagina's 11-19 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 29 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |