Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 4 van 15 gevonden artikelen
 
 
  Characteristics of the Wear Process of Side-Wall Surfaces in Bulk-Fabricated Si-MEMS Devices in Nitrogen Gas Environment
 
 
Titel: Characteristics of the Wear Process of Side-Wall Surfaces in Bulk-Fabricated Si-MEMS Devices in Nitrogen Gas Environment
Auteur: Shen, Sihan
Meng, Yonggang
Zhang, Wei
Verschenen in: Tribology letters
Paginering: Jaargang 47 (2012) nr. 3 pagina's 455-466
Jaar: 2012
Inhoud:
Uitgever: Springer US, Boston
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 4 van 15 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland