|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Parameters and Composition of Plasma in a CF4 + H2 + Ar Mixture: Effect of CF4/H2 Ratio |
| Auteur: |
Miakonkikh, A. V. Kuzmenko, V. O. Efremov, A. M. Rudenko, K. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 53 () nr. 1 pagina's 70-78 |
| Jaar: |
2024-05-04 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |