Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
 
 
  Formation of Nanosized Structures on the Silicon Surface by a Combination of Focused Ion Beam Methods and Plasma-Chemical Etching
 
 
Titel: Formation of Nanosized Structures on the Silicon Surface by a Combination of Focused Ion Beam Methods and Plasma-Chemical Etching
Auteur: Klimin, V. S.
Morozova, Yu. V.
Kots, I. N.
Vakulov, Z. E.
Ageev, O. A.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 51 () nr. 4 pagina's 236-242
Jaar: 2022-07-12
Inhoud:
Uitgever: Pleiades Publishing, Moscow
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland