|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 10 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of the Plasma Resistance of a High Resolution e-Beam Resist HSQ for Prototyping Nanoelectronic Devices |
| Auteur: |
Miakonkikh, A. V. Shishlyannikov, A. V. Tatarintsev, A. A. Kuzmenko, V. O. Rudenko, K. V. Gornev, E. S. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 50 () nr. 5 pagina's 297-302 |
| Jaar: |
2021-09-10 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 10 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |