|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 10 gevonden artikelen
| Titel: |
Kinetics of the Volumetric and Heterogeneous Processes in the Plasma of a C4F8 + O2 + Ar Mixture |
| Auteur: |
Efremov, A. M. Murin, D. B. Sobolev, A. M. Kwon, K.-H. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 50 () nr. 1 pagina's 24-32 |
| Jaar: |
2021-02-19 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 10 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |