|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Features of the Application of Reactive Ion Etching of Quartz in the Production of Pendulums of Q-Flex Accelerometers |
| Auteur: |
Kharlamov, M. S. Guseva, O. S. Konovalov, S. F. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 49 () nr. 3 pagina's 184-194 |
| Jaar: |
2020-05-18 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 8 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |