|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic Layer Deposition of Aluminum Nitride Using Tris(diethylamido)aluminum and Hydrazine or Ammonia |
| Auteur: |
Abdulagatov, A. I. Ramazanov, Sh. M. Dallaev, R. S. Murliev, E. K. Palchaev, D. K. Rabadanov, M. Kh. Abdulagatov, I. M. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 47 (2018) nr. 2 pagina's 118-130 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 8 gevonden artikelen
| volgende >> |