|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of the mixture composition on the electrophysical parameters and emission spectra of CF2Cl2/Ar and CF2Cl2/He plasma |
| Auteur: |
Pivovarenok, S. A. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 46 (2017) nr. 4 pagina's 267-271 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |