|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 10 gevonden artikelen
| Titel: |
Creation of lithographic masks using a scanning probe microscope |
| Auteur: |
Bizyaev, D. A. Bukharaev, A. A. Ziganshina, S. A. Nurgazizov, N. I. Khanipov, T. F. Chuklanov, A. P. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 44 (2015) nr. 6 pagina's 389-398 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 10 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |