|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Installation for etching and deposition of thin-film structures by a fast neutral particle beam |
| Auteur: |
Maishev, Yu. P. Shevchuk, S. L. Terent’ev, Yu. P. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 44 (2015) nr. 5 pagina's 304-311 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 8 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |