|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 7 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrical parameters and concentrations of charged particles in methane plasma |
| Auteur: |
Semenova, O. A. Efremov, A. M. Barinov, S. M. Kuchumov, A. A. Svetsov, V. I. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 42 (2013) nr. 5 pagina's 301-308 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 7 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |