|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Measurement of the native oxide thickness on a reference relief pitch structure on a single-crystal silicon substrate |
| Auteur: |
Gavrilenko, V. P. Kuzin, A. A. Kuzin, A. Yu. Kuz’min, A. A. Mityukhlyaev, V. B. Rakov, A. V. Todua, P. A. Fillipov, M. N. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 42 (2013) nr. 2 pagina's 99-101 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 9 gevonden artikelen
| << vorige |