Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
 
 
  Complex investigations of effects of charging a polymer resist (PMMA) during electron lithography
 
 
Titel: Complex investigations of effects of charging a polymer resist (PMMA) during electron lithography
Auteur: Rau, E. I.
Evstaf’eva, E. N.
Zaitsev, S. I.
Knyazev, M. A.
Svintsov, A. A.
Tatarintsev, A. A.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 42 (2013) nr. 2 pagina's 89-98
Jaar: 2013
Inhoud:
Uitgever: SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland