|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Approaches to hydrogenation of silicon tetrachloride in polysilicon manufacture |
| Auteur: |
Ivanov, V. M. Trubitsin, Yu. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 40 (2011) nr. 8 pagina's 559-561 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |