|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Measurements of linear dimensions of silicon nanorelief elements with a near-rectangular profile by defocusing the electron probe of a scanning electron microscope |
| Auteur: |
Valiev, K. A. Gavrilenko, V. P. Zhikharev, E. N. Danilova, M. A. Kal’nov, V. A. Larionov, Yu. V. Mityukhlyaev, V. B. Orlikovskii, A. A. Rakov, A. V. Todua, P. A. Filippov, M. N. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 39 (2010) nr. 6 pagina's 394-400 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |