Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 4 van 8 gevonden artikelen
 
 
  Improved multistep method of ion implantation into silicon for IC manufacture
 
 
Titel: Improved multistep method of ion implantation into silicon for IC manufacture
Auteur: Plebanovich, V. I.
Chelyadinskii, A. R.
Vasil’ev, Yu. B.
Gladchuk, A. I.
Osipov, V. E.
Verschenen in: Russian microelectronics
Paginering: Jaargang 37 (2008) nr. 3 pagina's 187-191
Jaar: 2008
Inhoud:
Uitgever: SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 4 van 8 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland