|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Specific features of intensification of silicon etching in CF4/O2 plasma |
| Auteur: |
Grigoryev, Yu. N. Gorobchuk, A. G. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 36 (2007) nr. 5 pagina's 321-332 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Nauka/Interperiodica, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 8 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |