|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Plasma etching of poly-Si/SiO2/Si structures: Langmuir-probe and optical-emission-spectroscopy monitoring |
| Auteur: |
Rudenko, K. V. Myakon’kikh, A. V. Orlikovsky, A. A. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 36 (2007) nr. 3 pagina's 179-192 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Nauka/Interperiodica, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |