|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Evaluating the Wall-Recombination Constant of Cl Atoms in Cl2-Ar Plasmas of Different Ar Percentage |
| Auteur: |
Kirillov, Yu. V. Sitanov, D. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 34 (2005) nr. 4 pagina's 217-221 |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Nauka/Interperiodica, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 8 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |