|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Borophosphosilicate Glass Films in Silicon Microelectronics, Part 1: Chemical Vapor Deposition, Composition, and Properties |
| Auteur: |
Vasilev, V. Y. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 33 (2004) nr. 5 pagina's 271-284 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |