|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Thermally Induced Viscous Flow of Borophosphosilicate-Glass Thin Films on Stepped Surfaces, Part 2: Generalized Parameters for ULSI Glass Flow Characterization |
| Auteur: |
Vasilev, V. Y. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 32 (2003) nr. 4 pagina's 190-199 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |