|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Mechanism of the Ultradeep Anisotropic Chemical Etching of Si(100) in the Microfabrication of Piezoresistive Pressure Sensors |
| Auteur: |
L. V. Sokolov S. V. Arkhipov V. M. Shkol'nikov |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 32 (2003) nr. 3 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2003-05/06-/06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |