|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Thermally Induced Viscous Flow of Borophosphosilicate-Glass Thin Films on Stepped Surfaces, Part 1: A Review of Quantitative Studies on Furnace and Rapid Thermal Annealing |
| Auteur: |
V. Y. Vasilev |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 32 (2003) nr. 3 pagina's 11 p. |
| Jaar: |
2003-05/06-/06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |