|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Linear Standard for SEM–AFM Microelectronics Dimensional Metrology in the Range 0.01–100 μm |
| Auteur: |
Volk, Ch. P. Gornev, E. S. Novikov, Yu. A. Ozerin, Yu. V. Plotnikov, Yu. I. Prokhorov, A. M. Rakov, A. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2002) nr. 4 pagina's 207-223 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |