|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 207 van 226 gevonden artikelen
| Titel: |
The Model of the Process of the Chemical Mechanical Polishing of the Copper Metallization, Based on the Formation of the Passivation Layer |
| Auteur: |
Makhviladze, T. M. Sarychev, M. E. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 47 (2018) nr. 5 pagina's 344-353 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 207 van 226 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |