|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic Layer Deposition of La:Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films with Abnormally High Dielectric Permittivity for Memory and Logic Devices |
| Auteur: |
Chernikova, A. G. Kozodaev, M. G. Markeev, A. M. |
| Verschenen in: |
Russian journal of applied chemistry |
| Paginering: | Jaargang 96 () nr. 5 pagina's 579-587 |
| Jaar: |
2024-03-12 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |