|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 48 van 66 gevonden artikelen
| Titel: |
Plasma-Enhanced CVD of Organosilicate Glass (OSG) Films Deposited from Octamethyltrisiloxane, Bis(trimethylsiloxy)methylsilane, and 1,1,3,3-Tetramethyldisiloxane |
| Auteur: |
Wu, Qingguo Gleason, Karen K. |
| Verschenen in: |
Plasmas and polymers |
| Paginering: | Jaargang 8 (2003) nr. 1 pagina's 31-41 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 48 van 66 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |