|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum |
| Auteur: |
Osipov, Artem A. Andrianov, Nikolai A. Speshilova, Anastasia B. Gagaeva, Alina E. Risquez, Sarah Vorobyev, Alexandr Alexandrov, Sergey E. |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 43 () nr. 3 pagina's 697-707 |
| Jaar: |
2023-02-18 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |