|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Quantitative Analysis of Mass Spectrometric Signals for the Estimation of Fluorine Radical Densities in CF4 and CF4/O2 Plasmas |
| Auteur: |
Li, Jie Kim, Yongjae Han, Seunghun Niu, Jingjie Chae, Heeyeop |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 42 () nr. 4 pagina's 989-1002 |
| Jaar: |
2022-05-25 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |