|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Monocrystalline Quartz ICP Etching: Road to High-Temperature Dry Etching |
| Auteur: |
Osipov, Artem A. Iankevich, Gleb A. Alexandrov, Sergey E. |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 40 () nr. 1 pagina's 423-431 |
| Jaar: |
2019-09-05 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |