Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 7 van 11 gevonden artikelen
 
 
  Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas System for Rapid Two-Dimensional Oxidation of Si Substrate Surface
 
 
Titel: Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas System for Rapid Two-Dimensional Oxidation of Si Substrate Surface
Auteur: Tsuchiya, Takumi
Tanaka, Yasunori
Maruyama, Y.
Fujita, A.
Tial, M. K. S.
Uesugi, Y.
Ishijima, T.
Yukimoto, T.
Kawaura, H.
Verschenen in: Plasma chemistry and plasma processing
Paginering: Jaargang 38 (2018) nr. 3 pagina's 599-620
Jaar: 2018
Inhoud:
Uitgever: Springer US, New York
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 7 van 11 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland