|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
One-Step Synthesis of Silicon Oxynitride Films Using a Steady-State and High-Flux Helicon-Wave Excited Nitrogen Plasma |
| Auteur: |
Huang, Tianyuan Jin, Chenggang Yu, Jun Yang, Yan Zhuge, Lanjian Wu, Xuemei Sha, Zhendong |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 37 (2017) nr. 4 pagina's 1237-1247 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |