|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Low-Pressure Plasma Reactor with a Cylindrical Electrode for Eco-friendly Processing in the Semiconductor Industry |
| Auteur: |
Hur, M. Lee, J. O. Kang, W. S. Song, Y.-H. |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 34 (2014) nr. 5 pagina's 1187-1198 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |