|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Deposition of a Continuous and Conformal Copper Seed Layer by a Large-Area Electron Cyclotron Resonance Plasma Source with Embedded Lisitano Antenna |
| Auteur: |
Jang, Soo Ouk You, Hyun Jong Kim, Young-Woo Jung, Yong Ho Hwang, In Uk Park, Jae Yang Lee, Heon |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 34 (2013) nr. 1 pagina's 229-237 |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |