|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Experimental Study of Capacitive RF c-C4F8 Discharge with Synchrotron Vacuum Ultraviolet Photoionization Mass Spectrometry |
| Auteur: |
Zhou, Zhongyue Xie, Mingfeng Tang, Tang Zhang, Yijun Yuan, Tao Qi, Fei Ni, Tom Qian, Xueyu |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 30 (2010) nr. 3 pagina's 391-400 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |