|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of Showerhead Configuration on Coherent Raman Spectroscopically Monitored Pulsed Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride Thin Films |
| Auteur: |
B. Phillips R. G. Rodriguez L. D. Lau S. D. Steidley |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 24 (2004) nr. 2 pagina's 17 p. |
| Jaar: |
2004-06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |