|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical Vapor Deposition of Silicon Dioxide by Direct-Current Corona Discharges in Dry Air Containing Octamethylcyclotetrasiloxane Vapor: Measurement of the Deposition Rate |
| Auteur: |
Junhong Chen Jane H. Davidson |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 24 (2004) nr. 2 pagina's 20 p. |
| Jaar: |
2004-06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 20 gevonden artikelen
| volgende >> |