|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Etching Mechanism of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films in Cl2/Ar Plasma |
| Auteur: |
Efremov, A.M. Kim, D.P. Kim, K.T. Kim, C.I. |
| Verschenen in: |
Plasma chemistry and plasma processing |
| Paginering: | Jaargang 24 (2004) nr. 1 pagina's 13-28 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |