Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 14 gevonden artikelen
 
 
  Depth-resolved impact of integration process on porosity and solvent diffusion in a SiOCH low-k material
 
 
Titel: Depth-resolved impact of integration process on porosity and solvent diffusion in a SiOCH low-k material
Auteur: Lépinay, M.
Djourelov, N.
Marinov, H.
Broussous, L.
Courouble, K.
Licitra, C.
Bertin, F.
Rouessac, V.
Ayral, A.
Verschenen in: Journal of porous materials
Paginering: Jaargang 21 (2014) nr. 4 pagina's 475-484
Jaar: 2014
Inhoud:
Uitgever: Springer US, Boston
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 14 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland