|
Depth-resolved impact of integration process on porosity and solvent diffusion in a SiOCH low-k material |
|
|
|
Titel: |
Depth-resolved impact of integration process on porosity and solvent diffusion in a SiOCH low-k material |
Auteur: |
Lépinay, M. Djourelov, N. Marinov, H. Broussous, L. Courouble, K. Licitra, C. Bertin, F. Rouessac, V. Ayral, A. |
Verschenen in: |
Journal of porous materials |
Paginering: |
Jaargang 21 (2014) nr. 4 pagina's 475-484 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|