|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
RuO2/Ru electrode on Si3N4/Si substrate for microelectromechanical systems devices based on Pb(Zr1-xTix)O3 film and surface micromachining |
| Auteur: |
Yoon, Y. S. Kim, J. H. Schimidt, A. M. Polla, D. L. Wang, Q. Gladfelter, W. L. Shin, Y. H. |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 9 (1998) nr. 6 pagina's 465-471 |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |